Elementbestimmung

• Optische Plasma-Emissionsspektroskopie (ICP-OES)
  Quantitatives Multielement-Screening von wässrigen Lösungen, Säuregemischen und von Feststoffen nach Aufschluss. Nachweisempfindlichkeit im ppb-Bereich.
• Plasma-Massenspektrometrie (ICP-MS)
  Quantitatives Multielementscreening von wässrigen Lösungen, Säuregemischen und Feststoffen nach Aufschluss. Nachweisgrenzen im unteren ppt-Bereich.
• Graphitrohr-Atomabsorptionsspektroskopie (GF-AAS)
  Quantitative Bestimmung von Silicium in wässrigen Lösungen bis in den ppb-Bereich.
• Ionenchromatographie (IC)
  Bestimmung von anorganischen und organischen Anionen und Kationen, sowie gelöstem Silicium. Nachweisgrenze im ppt-Bereich nach Aufkonzentrierung.
• Halogenanalyse:
  Bestimmung des Gesamthalogengehalts (F, Cl, Br, I) in anorganischen und organischen Feststoffen und Flüssigkeiten nach thermischer Oxidation mittels IC und ICP-MS.
• Kohlenstoffbestimmung (TOC)
  Bestimmung von anorganischem und organisch gebundenem C in wässrigen Lösungen bis in den unteren ppb-Bereich.
• Elementaranalyse von P und S:
  Bestimmung in Lösungen und Feststoffen nach Druckaufschluss in Reinstsauerstoff.
• Vapour Phase Decomposition (VPD-ICP-MS)
  Analyse von Waferkontaminationen durch Abätzen der SiO_x Passivierung mit Flusssäuredämpfen, mit anschließender ICP-MS-Analyse.
• Leach Out Tests gem. SEMI F40 / F57, Bestimmung von auslaugbaren metallischen, ionogenen und organischen Stoffen aus “High purity” - Materialien.
• IPC TM-650 Methode 2.3.28, Bestimmung von wasser- / IPA-löslichen, ionogenen Stoffen (Anionen, Kationen, wenig dissoziierten Säuren (WOAs)) aus elektronischen Komponenten (Leiterplatten, Bauteilen, Sensoren, Vergelungen, etc.)

Oberflächenanalytik

• Lichtmikroskopie
  Farbige Abbildung von Oberflächen bei hohen Vergrößerungen.
• Rasterelektronenmikroskopie mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (REM/EDX)
  Untersuchung der Topographie und Zusammensetzung, auch bei sehr hohen Vergrößerungen.
• Photoelektronenspektroskopie (XPS / ESCA)
  Oberflächensensitive Bestimmung der elementaren Zusammensetzung inkl. Informationen über die Bindungszustände.
• Infrarotspektroskopie (FTIR)
  Analyse der organischen Bestandteile.
• Vapour Phase Decomposition (VPD-ICP-MS)
  Untersuchung von Waferkontaminationen durch Abätzen mit Flusssäuredämpfen und Analyse mittels ICP-MS.
• Laser-induzierte Desorptions-Massenspektrometrie (LIMS / LDMS)

Bestimmung organischer Verbindungen

• Gaschromatographie mit Massenspektrometer (GC-MS)
  Analyse organischer Verbindungen in Flüssigkeiten und Feststoffen.
• Gaschromatographie mit Flammenionisationsdetektor (GC-FID)
  Bestimmung von Restöl in Druckluft
• Gaschromatographie mit Wärmeleitfähigkeitsdetektor und Flammenionisationsdetektor (GC-WLD-FID)
  Analyse von Gasen auf Verunreinigungen.
• Infrarotspektroskopie (FTIR)
  Analyse der organischen Bestandteile.
• Restgas-MS
  Bestimmung organischer Spurenkontaminationen in Luft und anderen Gasen.
• Kohlenstoffbestimmung (TOC)
  Bestimmung von anorganischem und organisch gebundenem C in wässrigen Lösungen bis in den ppb-Bereich.

Thermische Analysen

• Dynamische Differenzkalorimetrie (DSC)
  Bestimmung von Materialeigenschaften wie Schmelzpunkt, Glasübergangstemperatur, … .
• Thermomechanische Analyse (TMA)
  Bestimmung von thermomechanischen Eigenschaften.
• Thermogravimetrie (TG)
  Untersuchung von Prozessen, die sich anhand von Masseverlust oder -zunahme charakterisieren lassen.

Partikelanalytik

• Restschmutzanalyse / Technische Sauberkeit (TecSa)
  Extraktion und Analyse z. B. nach VDA 19.1 bzw. ISO 16232.
• Luftmessungen von Partikeln
  Filtration von Luft und anschließende Auswertung der Filter.
• Single particle ICP-MS
  Gleichzeitige Erfassung der Partikelgrößenverteilung und der Zusammensetzung von Partikeln im nm-Bereich.
• On- und Offline-Messung von Partikeln in Flüssigkeiten mittels LPC
  Erfassung von Partikelgrößen in Flüssigkeiten.

Elektrochemische Methoden

• Voltammetrie / Cyclovoltammetrie
  Aufnahme von Strom-Spannungs-Kurven zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Proben.
• Amperometrie
  Bestimmung von Konzentrationen durch den zeitabhängigen Stromverlauf bei einer konstanten angelegten Spannung.
• Coulometrie
  Bestimmung von Konzentrationen auf Basis des Faraday'schen Gesetzes.
• Elektrochemische Impedanzspektroskopie
  Charakterisierung von Systemen/Proben durch Anlegen einer Wechselspannung.

Sonstige Methoden

• Viskosimetrie
  Bestimmung der Viskosität/Zähflüssigkeit von Medien.