Mit unserem neuen digitalen Lichtmikroskop Keyence 7000 können wir eine Elementanalyse praktisch während der mikroskopischen Untersuchung durchführen. Zu diesem Zweck wird die laserinduzierte Plasmaspektroskopie (LIPS oder LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy)) eingesetzt.
Durch lokalen Beschuss einer Probe mit kurzen Laserpulsen wird ein kleines Volumen der Probe verdampft und ionisiert, wodurch ein Plasma entsteht (Laserablation). Beim Zerfall des Plasmas wird Licht emittiert, das für die darin enthaltenen Elemente charakteristisch ist. Das Licht wird mit einem Spektrometer zerlegt, wobei ein Detektor die Intensität der einzelnen Wellenlängen aufzeichnet. Dies ermöglicht eine qualitative und quantitative Bestimmung des Probenmaterials.
Diese Methode wird daher zur Analyse von Materialien einschließlich Partikeln eingesetzt. Bei mehrschichtigen Systemen kann durch wiederholtes Aufsetzen auf einen Messpunkt ein Tiefenprofil durch mehrere Schichten erstellt werden.